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凈化工程工藝要求
凈化工程幾點(diǎn)工藝要求:
一、金屬結(jié)構(gòu)支架采用電焊焊接。焊縫要牢固,不能有裂紋合固體夾雜,不能有松動(dòng),不能有虛焊,不能有形狀缺陷。
二、金屬結(jié)構(gòu)支架焊接完畢后,應(yīng)按無(wú)損檢驗(yàn)方法進(jìn)行檢驗(yàn),檢驗(yàn)合格后方可定位安裝,并清除銹斑、焊渣等雜物,涂紅丹防銹漆(或銀粉)。
三、隔片玻璃垂直接縫處均須磨邊處理,隔片中間不得有白色玻璃膠凸起。
四、玻璃隔斷邊飾面要求貼平并且不能有凹陷。
潔凈室按工藝可以分為亂流式和層流式:
亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,再?gòu)臐崈羰覂蓚?cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)和呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式合用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
長(zhǎng)處:構(gòu)造簡(jiǎn)樸、系統(tǒng)建造本錢低,潔凈室的擴(kuò)充比較輕易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵車間,進(jìn)一步提升潔凈室等級(jí)。
缺陷:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)休止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,耗時(shí)時(shí)間比較長(zhǎng)。
層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型,空氣由籠蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
長(zhǎng)處:構(gòu)造簡(jiǎn)樸,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成不亂。
缺陷:建造用度比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器籠蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):治理輕易,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)不亂狀態(tài),不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。
缺點(diǎn):構(gòu)造用度較高,彈性運(yùn)用空間難題,天花板之吊架相稱占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩